アクティブ防振プラットフォームの概要

STACIS® IIIは柔軟な能動的防振システムである。STACIS能動防振プラットフォームシステムは先進的な慣性振動センサ、先進的な制御アルゴリズムと圧電アクチュエータを採用し、地上活動を連続的に測定し、その後圧電アクチュエータを拡張し、収縮することによって地上運動を濾過し、リアルタイムで振動を除去する。

STACIS**は、先進的な半導体工場における精密なマイクロリソグラフィ、計測、検出装置を隔離するために設計され、現在では騒々しい環境（半導体工場、故障分析実験室、ナノテクノロジー研究、ナノ製造施設、材料研究センターを含むがこれらに限定されない）における**敏感機器の業界標準ソリューションとなっている。

STACIS IIIアクティブ防振プラットフォームシステムは、新しい改良型デジタルコントローラDC−2020を含む。この新しい**制御システムは、新しいデュアルコアプロセッサー、イーサネット、USBシリアルポートを前面パネルに採用し、ユーザーに近代的で使いやすいグラフィカルユーザーインタフェース（GUI）を提供しています。STACISは世界で数百の成功した設置例を持っており、理想的な防振システムであり、振動**に敏感な機器に適している。

アクティブ防振プラットフォームシステムSTACIS IIIの利点

STACISは空気防振器より数百倍硬く、空気防振システムの限界はありません。これには「ソフト」サスペンションはありません。アクティブエアシステムとは異なり、STACISは内部アクティブエア防振システムを備えたツールの下に置き、両方のシステムを**状態で動作させることができます。

独自のシリアル設計と独自の高力圧電技術により、0.6 Hz*150 Hzの広いアクティブ帯域幅と2 Hzから90%減衰する**アクティブ防振性能を実現することができます。

アクティブ防振プラットフォームシステムSTACIS IIIの特徴

▪ **使いやすいグラフィカルなユーザーインタフェースを提供する新改良DC-2020デジタルコントローラ

▪ 防振開は0.6ヘルツから始まり、1 Hzで40%＊70%の分離率に達した

▪ 周波数が2ヘルツ以上の場合、垂直および水平の防振率は90%より大きい

▪ インフラストラクチャの要件と建設コストを削減し、大きな外部振動設備があっても正常に動作する

▪ 有効防振範囲、0.6 Hzから150 Hz

▪ 多くのユーザーから広く認められ、評価されています

▪ 6自由度ハードマウント設計、エアサスペンション不要

▪ 強力な制御システムは定期的な再較正を必要としない

▪ point-of-use設計方案、顧客の既存の防振システムとシームレスに互換性がある

▪ 外部環境の変化に伴い、システムは異なる外部振動状況に適応するために自動的に調整する

▪ TMCのSTACIS®技術圧電アクチュエータを用いた能動消振

▪ デジタルコントローラとPCベースのグラフィカルユーザインタフェース（GUI）

▪ 顧客製品の生産量、品質、歩留まりを高める。

▪ RoHS規格準拠

▪ **広い能動防振帯域幅、**の低周波防振効果

▪ サブヘルツのアクティブ振動除去、**主に0.6～6 Hz帯域での防振

▪ スタッキング可能な設計

▪ ソフト懸濁ではなく、アクティブハードマウント構造、低周波ドリフトなし、アクティブエレメントと剛性スプリングを接続

▪ 受動ばねはSTACISセンサからの負荷共振を除去し、必要な同調は非常に少なく、***は同調する必要はありません

▪ インピーダンス不整合のため、機器内部アイソレータと互換性がある

▪ 2000 kgまでの負荷

▪ 市場における**のアクティブ防振システム

アクティブ防振プラットフォーム性能

4500ポンド（2045 kg）のペイロードを試験するために、VC−C（500μインチ／秒、12.5μm／秒RMS）の模擬振動を用いて

アクティブ防振プラットフォーム仕様

パフォーマンス仕様

STACISユーザ及びアプリケーション分野

1、マイクロエレクトロン、半導体

▪ ウェハ検出

▪ マイクロリソグラフィ技術

▪ マスク較正

2、科学研究、ナノテクノロジー

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3、レーザー台

▪ ライフサイエンス、薬物開発

4、工業応用

▪ 精密加工

なぜアクティブ防振システムを選択したのですか。

▪ <1 Hzから地上振動を強く除去し、この低周波では空気圧プラットフォームが有効な防振を果たすことができない

▪ 品質、生産量を高める

▪ より細かな特色を持つイメージング能力

▪ 最前線研究

▪ エアプラットフォームよりも安定している

▪ SEM標準サイトのインストールパラメータを満たす**ソリューション

▪ 新しい実験室や研究設備の建設費を削減

アクティブ防振システムがSTACISを選択した理由

▪ 科学研究者の声を中心に、できるだけ**の免震環境を提供している。

▪ 市場では**の強力な低周波防振システム。

▪ 現在、すべてのSEMメーカーがインストールパラメータの要件を公表しており、必要な振動パラメータはアクティブ防振システムが必要である。

▪ STACIS**は1990 sに発明され、TMCのさらなる発展を経て、数千人の能動防振システムを開発し、設置した。これは能動防振制御分野の提供する信頼できるソリューションである。

STACISは空気圧アイソレータより数百倍剛性が大きい

安定時間は摂動に対する応答として、独特な直列式設計のため、大幅に短縮され、理想的には機械製造、動的負荷、レーザー或いは光源が設置する必要がある独立剛性メサの場合に応用される。

次のような利点は業界全体で**のものです。

▪ STACISのアクティブ防振帯域幅は0.6 Hz〜150 Hz

▪ 6つの自由度のアクティブ振動除去、1 Hzで8-10 dB振り振動

▪ 2-3 Hzから90%（20 dB）の防振が可能

専門的な環境調査

1、設置前後の環境調査、振動、磁場、音波を含む

2、設置後に環境システムシステム認証を提供できる

▪ 完全な環境調査サービス

▪ 専門的な環境レポートの作成

▪ 振動、磁場、音波検出及び解決策を提供する

▪ TMCはその広範な経験に基づいてユーザーに実用的な方案を推薦する

▪ 40年以上の業界経験、業界内の**

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